这篇论文提出了什么？
提出了四个经领域专家评审的 JSON Schema，用于描述材料科学中原子层沉积（ALD）和原子层刻蚀（ALE）的实验与模拟过程。
Mined from Scientific Literature: Process Schemas for Atomic Layer Deposition and Etching in Materials Science
（翻译）从科学文献中挖掘：材料科学中原子层沉积与刻蚀的工艺模式
资讯摘要
Abstract page for arXiv paper 2609.12139: Mined from Scientific Literature: Process Schemas for Atomic Layer Deposition and Etching in Materials Science
AI 摘要
该论文提出四个经领域专家评审的 JSON Schema，用于规范材料科学中原子层沉积（ALD）与原子层刻蚀（ALE）的实验和模拟过程。Schema 由 schema-miner 整理并基于 QUDT 实现语义对齐，可结构化描述材料、工艺条件、配置及测量或预测结果，并支持 schema 引导的文献抽取和通过 ORKG 模板发布结构化记录。
AI 问答
这些 Schema 如何构建和语义对齐？
使用 schema-miner 整理，并基于 QUDT 进行语义 grounding，通过 schema-miner pro 完成。
这些 Schema 有什么用途？
可用于 schema 引导的文献抽取，并通过 ORKG 模板发布结构化记录。
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